政治大學 研發處

一、      依科技部 110 年 7 月 7 日科部工字第 1100041334 號函辦理。

二、      旨揭計畫將推動下一個十年半導體產業所需的前瞻元件與材料、先進製程檢測等技術的先期布局，此計畫將以「科學超前佈署」的創新思維，探索突破現有框架的創新解決方案，解決 2030 年等效次奈米半導體量產技術所需之關鍵問題，以維持台灣半導體產業持續領先的地位。

三、      本計畫研發方向係以 Grand Challenge 方式，訂立高挑戰性的戰略研發目標，引導並鼓勵有豐沛研究能量的台灣學界提出前瞻性解決方案。計畫徵求之研究重點分為二大研究領域。（詳參附件研究領域說明）

(一)      領域一：Å 尺度半導體關鍵檢測技術

(二)      領域三：次奈米半導體元件與晶片關鍵技術探索

四、      本專案須規劃自 110 年 11 月 1 日至 114 年 10 月 31 日多年期計畫書，且以單一整合型研究計畫為限。

五、      每一整合型計畫之總計畫及所有子計畫全部書寫於一份計畫書，子計畫應為三個（含）以上，最多以不超過六個為原則。總計畫主持人須同 時主持 1 項子計畫，各主持人應實質參與研究，計畫書應詳實註明 各主持人負責之研究主題，整合之計畫需有整體明確的目標，並由總計畫主持人之服務機關提出申請。

六、      有意申請者請於旨揭截止期限前完成線上申請作業（線上申請 時，請選擇「專題類-隨到隨審計畫」；計畫類別點選「一般策略專案計畫」；研究型別點選「整合型計畫」。領域一之計畫歸屬點選「自然司」；學門代碼點選「M9201- 前瞻半導體」，子學門代碼依計畫所屬領域點選其中之一「M920101-前瞻半導體-檢測技術、M920202 前瞻半導體-關鍵元件材料」。領域三之計畫歸屬點選「工程司」；學門代碼點選「E9866-前瞻半 導體-次奈米元件與晶片技術」），並請所屬單位於次日中午前將申請名冊（經單位主管核章）送達研發處，俾利備函彙送科技部審查。

七、      本計畫相關申請疑義，計畫領域一請洽科技部自然司郭廷洋助理研究員；聯絡電話：02-2737-7465；計畫領域三請洽科技部工程司潘敏治副研究員；聯絡電話：02-2737-7983。有關系統操作問題，請洽科技部資訊處，電話：0800-212-058、02-2737-7590～2737-7592。